![]() |
Τροποποιημένο: | 1 |
Τιμή: | $1000-$150000 |
Πληροφορίες συσκευασίας: | Άλλες συσκευές |
Χρόνος παράδοσης: | 5 έως 60 ημέρες |
Όροι πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union |
SS101Σφραγίδες-Επίπεδο Διανομή Μηχανή
Για υπογεμίσεις σε μορφή κυψελών
Το SS101 είναι ένα εξαιρετικά σταθερό και ακριβές σύστημα διανομής σε επίπεδο κυψελών, το οποίο αναπτύσσεται με βάση τις απαιτήσεις της διαδικασίας Under fill της RDL First WLP.
Ο εξοπλισμός πληροί τις ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών, μπορεί να είναι εφοδιασμένος με αυτόματο σύστημα φόρτωσης και εκφόρτωσης πλακιδίων και μπορεί να πραγματοποιεί αυτόματα λειτουργίες όπως χειρισμός πλακιδίων,ευθυγράμμιση Είναι συμβατό με τα διεθνή πρωτόκολλα επικοινωνίας ημιαγωγών.και είναι εφοδιασμένο με ένα σύστημα αυτόματης φόρτωσης και εκφόρτωσης ρομπότ AMHS για να ταιριάζει με το
απαιτήσεις διαχείρισης πληροφοριών και τάσεις διαχείρισης χωρίς χειριστή.
SS101 Διαμόρφωση συστήματος
∆ Εφοδιασμός & Φούπ
Αρμόδιο
Κέντρο σάρωσης κωδικών QR
∆ Σταθμός προθέρμανσης
∆ιαχείριση της θερμότητας
Διοργανωτικός σταθμός μηχανής διανομής
Μονάδα χειρισμού ρομπότ
Τεχνικές προδιαγραφές
Σύστημα SS101 | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Μηχανή επεξεργασίας κυψελών * 1 (EFEM) | |
Πεδία εφαρμογής | RDL Πρώτη WLP, CUFΕφαρμογή | |
Επίπεδο καθαριότητας | Καθαρότητα του χώρου εργασίας |
Τάξη 100 (εργαστήριο τάξης 1000) Τάξη 10 (εργαστήριο τάξης 100) |
Πεδία εφαρμογής του προϊόντος |
Υποστήριξη μεγέθους πλακέτας |
φ200mm±0 0,5 mm, φ300mm±0,5 mm (Το τυποποιημένο μοντέλο υποστηρίζει μόνο πλακίδια 12 ιντσών) |
Υποστήριξη για το πάχος της πλάκας | 300-2550 μm | |
Επιτρεπόμενο μέγιστο εύρος στρογγυλοειδούς πλακέτας | < 5 mm (ανάλογα με τον τύπο του ρομπότ-δάχτυλου) | |
Επιτρεπόμενο μέγιστο βάρος πλάκας | 600 g (ανά τύπο Robot Finger) | |
Τύπος κασέτας από πλάκες | 8 ιντσών ανοιχτή κασέτα, 12 ιντσών Foup (Standard μοντέλο υποστηρίζει μόνο 12 ιντσών πλακίδια) | |
PC101 (EFEM) |
Μέθοδος φόρτωσης και εκφόρτωσης | Τοποθεσία φορτίου+ρομπότ |
Ακρίβεια προ-ευθυγράμμισης | Στρογγυλή απόκλιση διόρθωσης κέντρου≤±0,1 mm· Απόκλιση διόρθωσης γωνίας≤±0,2 ° | |
Διαβάτης κυψελών | Υποστηρίζει γραμματοσειρές SEMI (επίπεδες ή κομβικές/επικονικές επιφάνειες) | |
Πεδίο θερμοκρασίας προθέρμανσης | Θερμοκρασία δωματίου ~ 180°C | |
Μέθοδος ψύξης κυψελών | Φυσική ψύξη ή ψύξη αέρα | |
Σύστημα διανομής κίνησης |
Μηχανισμοί μετάδοσης | Χ/Υ: Γραμμικός κινητήρας Z: Σερβοκινητήρας και μονάδα βίδα |
Επαναληψιμότητα | Χ/Υ: ±3μ mZ: ±5μ m | |
Ακριβότητα θέσης | Χ/Υ: ±10μm | |
Μέγιστη ταχύτητα κίνησης | Χ/Υ: 1000mm/s Z: 500mm/s | |
Μέγιστη επιταχυνόμενη ταχύτητα | X/Y: 1g Z: 0,5g | |
Σύστημα όρασης |
Πιξέλες φωτογραφικής μηχανής | 130W |
Ακρίβεια αναγνώρισης | ±1 pixel | |
Πεδίο αναγνώρισης | 12 × 16 mm<περίοδος αναγνώρισης< 19,2 × 25,6 mm | |
Πηγή φωτός | Συνδυασμένη τριχρωματική πηγή φωτός κόκκινο, πράσινο, λευκό + κόκκινο | |
Σύστημα βαθμονόμησης ζύγισης | Ακριβότητα ζύγισης | 00,01 mg |
Τραπέζι φορτίου Chuck |
Απόκλιση της επίπεδης επιφάνειας του κενού | ≤ 3 0 μm |
Περιοχή θερμοκρασίας θέρμανσης | Θερμοκρασία δωματίου ~ 180°C | |
Απόκλιση θερμοκρασίας θέρμανσης | ≤ ± 1,5 °C | |
Επαναληπτότητα ύψους ανύψωσης | ± 10 μm | |
Πίεση αναρρόφησης υπό κενό | -70~-85Kpa ρυθμιζόμενο | |
Εγκαταστάσεις |
Αποτύπωμα (W*D*H) | 3075×2200×2200mm ((Εμφάνιση αναδιπλωμένη) |
Βάρος | 2.9t | |
Ηλεκτρική τροφοδοσία | 200~240VAC,47~63HZ (ενιαία φάση προσαρμογής τάσης) | |
Ηλεκτρικό ρεύμα | 75Α | |
Δύναμη | 16.5KW | |
Ενέπνευση | (0,5Mpa, 450L/min) ×5 οδός | |
Ενεργειακή θερμοκρασία περιβάλλοντος. | 23°C±3°C | |
Σχετική υγρασία του περιβάλλοντος εργασίας | 30 ~ 70% |